非原创,只是搬运工,自我总结。
本科时候用过Silvaco TCAD,做了毕业设计的仿真,不过主要还是抄抄例子、改改参数。
目前因为需要,安装破解了Sentaurus TCAD,用于半导体仿真,在这里自我总结一下。
Sentaurus TCAD是一款半导体器件仿真软件。(废话
安装流程
1. 虚拟机
我试过Redhat 5.5、CentOS 7(1708)、Ubuntu。
其中前两个是自己装的,Ubuntu是用的仿真小哥免安装版。
后两者都有一定问题,CentOS补了几个依赖包,在打开svisual还是有点问题;Ubuntu在导入和导出.gzp文件的时候有点问题。
目前主要还是用Redhat 5.5,算是比较稳定,但是在用svisual打开某些文件的时候还是会死机,跳回到登陆界面。
虚拟机软件 VMware-workstation-full-14.0.0-6661328
,网上有很多下载和破解。
然后在虚拟机里安装 Linux 操作系统,我用了 rhel-server-5.5-x86_64-dvd
。
2. Sentaurus TCAD 软件主体
Sentaurus TCAD的安装文件包括4部分:
- scl软件,用于启动License服务
scl_v11.6_amd64.tar
、scl_v11.6_common.tar
- sentaurus TCAD的安装文件
sentaurus_vH_2013.03_amd64.tar (这是64位系统的文件)
、sentaurus_vH_2013.03_common.tar
- 安装器
installer_v3.0
- Sentaurus范例库
sentaurus_applications_library_vH_2013.03_common.tar
将它们拷入虚拟机,放在同一目录下,切换至root用户进行操作
cd installer_v3.0 #切换至installer_v3.0目录下
./setup.sh -install_as_root #运行安装器
先安装Sentaurus TCAD,再安装SCL。
两者的安装路径一般分别选择为/usr/synopsys/H_2013.03
和/usr/synopsys/SCL
如果安装过程中没有报错,软件的主体就安装完毕了。
3. 环境变量配置
修改 /etc/bashrc
文件,在其后添加以下内容
#---the Path where you install TCAD
export TcadPATH=/usr/synopsys/H_2013.03
#---the Path where you install SCL
export SclPATH=/usr/synopsys/SCL
#---the Path of your license file
export LicPATH=/usr/synopsys/SCL/admin/license/synopsys.dat
export PATH=$SclPATH/amd64/bin:$PATH
export PATH=$TcadPATH/bin:$PATH
export LM_LICENSE_FILE=$LicPATH
export SNPSLMD_LICENSE_FILE=$LicPATH
export STDB=$HOME/STDB
可以在终端里输入 swb
和 lmhostid
命令,测试环境变量是否配置成功。
4. 破解步骤
- 使用
ifconfig
和hostname
查看网卡物理地址
和主机名
。 - 打开LicGen,加载pakcs文件下的
Synopsys.lpd
。在Select Host ID中选择Custom,输入eth0网卡的物理地址,注意中间不要留冒号。选中Use Daemon,在Select Daemon ID中选择Custom,同样输入eth0网卡的物理地址。 - 生成license,将SERVER名字改为虚拟机的hostname,然后将
synopsys.dat
保存到Synopsys SSS Feature Keygen
文件夹路径下。 - 运行cmd,cd找到Synopsys SSS Feature Keygen路径下的sssverify,运行
sssverify.exe synopsys.dat
命令。记下SECRET DATA
。 - 打开KGen,输入上面
SCRETE DATA
和Linux eth0网卡物理地址
,点击生成后,将会自动在该文件夹路径下生成license.dat
文件。 - 打开
license.dat
文件,拷贝INCREMENT
整个段落,粘贴插入到synopsys.dat文件中PACKAGE
之前。 - 修改后的
synopsys.dat
文件即为Sentaurus的license文件。将synopsys.dat文件复制到scl/admin/license
路径下(正版软件license存放路径)。并且将snpslmd后面语句改为此文件在scl中的路径scl/amd64/bin/snpslmd
。
5. 启动lmgrd
在终端输入lmgrd
,出现valid SSS feature found
意味着license服务启动成功
如果显示TCP端口被占用,可以使用lmdown
命令关闭服务。等待数分钟,释放端口后再启动lmgrd
修改/etc/rc.local
,在其后添加
/usr/synopsys/SCL/amd64/bin/lmgrd -c /usr/synopsys/SCL/admin/license/license.dat -l /usr/synopsys/SCL/admin/license/license.log
使license服务随系统启动。
第一次启动需要设置STDB
目录,切换到个人目录下,mkdir STDB
创建目录。
然后就可以使用软件进行仿真学习和研究了!
其他
如果嫌自带的编辑器丑……可以按照 Sentaurus TCAD安装之jedit+TCAD宏包 教程,配置jedit
,强烈推荐!
主要参考
- 知乎live : 如何快速入门Sentaurus TCAD半导体器件仿真
- 知乎专栏 : Sentaurus TCAD 数值模拟
- 最详细的Sentaurus 2013安装过程